近年来，工业界对半导体晶圆、大型天文望远镜、DVD等精密表面的测量方法提出了更高的要求。不但要求测量方法要非接触、无损伤，还要具有极高的测量精度。激光干涉测量仪能够很好地满足这些要求。它是利用激光作为光源的一种干涉测量装置。我在日本理化学研究所光学工程研究室作博士后时发现了一个新的物理现象“干涉条纹自稳现象”。这一发现使我获得了日本应用物理学会颁发的第39届最优秀光学论文奖，成为该奖设立40年来第一个外国人获奖者。同时，由于该科学发现具有极高的产业应用价值，该科研成果也获得了日本光学工业协会颁发的工业应用奖。这项发明还获得了日本发明专利。此项目是具有自主知识产权，在国际上领先的技术。国际上还没有用同样技术生产的产品。这项技术不仅可用于半导体晶圆的检测上，还可以应用在大型天文望远镜镜头表面和DVD表面检测等，应用前景非常广阔。我们的目标首先是半导体晶圆的检测，因为其广阔的市场和旺盛的需求。半导体工业已经成为世界上最大的工业。有了半导体就需要晶圆，由于半导体产品对晶圆的质量要求非常高，晶圆上一点点的缺陷都可能影响整个模块的性能。芯片的刻划一般使用紫外激光，利用最先进的激光刻划技术，刻划密度可以达到0.18微米，也就是180纳米，这样精密的表面测量只有通过激光干涉仪来实现。此项目达产后可达到年产30台的规模，年销售收入300万美元(10万美元/台),利润100万美元。此产品的材料将通过国际采购达到最优性价比。此产品的销售对象是国际国内大型半导体芯片制造商。项目初期投资约需100万美元，预计投资利润率为30%，回收期为3年。

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刘纪元

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